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高精密光學(xué)鏡面采用超精密數(shù)控研磨與離子束拋光工藝，實(shí)現(xiàn)納米級面形精度，其中大口徑鏡面（≥1米）波像差可加工至λ/60（@632.8nm）；中小口徑鏡面通過磁流變拋光確定性修形，波像差可加工至λ/60-λ/80(@632.8nm)。
